三氯化磷与五氯化磷相似，与光气亦类似。有强烈腐蚀性。推测成人致死量为1ml。人接触70mg/m3浓度时可发生急性中毒。长期接触10mg～20mg/m3可发生慢性中毒。皮肤接触可直接造成Ⅱ～Ⅲ烧伤。遇水可因生成磷酸及氯化氢而加重灼伤，皮肤接触三氯氧磷时应立即用干棉布沾净，再用水彻底冲洗，以冲洗至创面pH值显中性为止。眼部接触三氯氧磷时可造成眼灼伤，应加强对眼睛的防护。